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UPSS级电子级氟化氢工艺包顺利投产电子级氢氟酸应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一。根据用途的不同，电子级氢氟酸主要分为EL、UP、UPS、UPSS等级别，其中UPSS级别是目前最高纯度级别。 本公司提供的电子级氟化氢工艺包，通过连续化的氟氮氧化反应器，高效率氟化氢脱金属离子精制系统，一次制备UPSS级别电子级氟化氢。 |
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